1. mksport官网

      近机台缓存设备
      NTB(Near Tool Buffer)用于晶圆厂对接天车与机台上下料口的缓存设备,减少机台等待时间,提高机台的利用率。 mksport官网NTB 设计符合SEMI E15.1,可与符合E15.1 标准的Load Port完美对接。

      可选配置:2/3/4 Port
      功能亮点:

      亲和人机界面

      稳定系统集成

      个性化定制Buffer数量

      快速移动功能

      具有SEMI S2/F47认证

      兼容EAP/MCS通信

      软件描述
      智能缓存控制系统
      NTB Software
      具有智能、高效、稳定、专业等特点的NTB监控软件,给予对无尘室存储库的智能化管理功能,顺利获得HSMS标准协议接收来自客户上位系统如MCS或EAP下发的搬运指令,实现FOUP的存取动作。顺利获得E84 实现与标准LoadPort 或者Sort 设备对接。

      NTB服务端实现接受上位MCS或者下位NTB用户手动创建的任务,将指令转发PLC执行,并实时监控 PLC的执行反馈信息,上报PLC 执行信息和异常报警信息,以达到自动进行入库和出库控制和设备状态监控上报。

      功能亮点:
      ▪ 作为制程设备的扩展口,能与标准设备快速对接,解决部分无法与天车对接的设备遇到的问题。
      ▪ 采用智能算法优化存储库的指令执行和货位管理逻辑,缩短晶圆盒的存取搬运时间。
      ▪ 提高存储库出入库频次和利用效率,最终提高晶圆厂的单位产出率,为晶圆厂创造更多的价值。
      重要参数
      技术指标参数
      尺寸(长*宽*高)

      2 Port:2220(可定制)*750*2780(可定制)

      定位精度

      ±0.5mm

      存储类型

      Foup

      洁净等级

      ≤Class100

      throughput<30s

      震动

      <0.5g

      噪音

      <75DB


      返回上一页